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半自动快速退火炉红外卤素灯管加热，冷却采用风冷；标准两组工艺气体，zui多可扩展至6组工艺气体；可测单晶片样品的zui大尺寸为12英寸（300x300MM）
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企业新闻 万国半自动快速退火炉RTP-SA-12发布时间：2023-11-03 浏览次数：5 返回列表
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